特許
J-GLOBAL ID：200903007920720943
解像度検査用チャート、解像度検査装置及び解像度検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-219626
公開番号（公開出願番号）：特開2009-053019
出願日： 2007年08月27日
公開日（公表日）： 2009年03月12日
要約：
【課題】照明の影響を少なくし、検査精度を向上させた解像度検査用チャート。【解決手段】複数本の黒色の線と白色の線とが交互に配置された縞パターン、該縞パターンの一方の側に隣接した黒色の太線からなる基準パターン、及び前記縞パターンの他方の側に隣接した白色の太線からなる基準パターンが各線の幅方向に複数組隣接して配置された検査用パターンを有すること。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
複数本の黒色の線と白色の線とが交互に配置された縞パターン、該縞パターンの一方の側に隣接した黒色の太線からなる基準パターン、及び前記縞パターンの他方の側に隣接した白色の太線からなる基準パターンが各線の幅方向に複数組隣接して配置された検査用パターンを有することを特徴とする解像度検査用チャート。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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