特許
J-GLOBAL ID：200903007921438109
基板回転式現像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-276376
公開番号（公開出願番号）：特開平9-097757
出願日： 1995年09月28日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：
【要約】【課題】 現像液の臭気漏れを防止しながらも、現像処理の面内均一性を向上することができる基板回転式現像装置を提供する。【解決手段】 現像液回収用の飛散防止カップ4の底部に排気ゾーン7dおよびカップ排気口10で構成される下方排気構造を備えるとともに、臭気拡散防止用の筒部材11の上部に排気ゾーン12および上部排気口13からなる上方排気構造を備え、基板Wの表面に現像液を液盛りして現像している間は、排気切換部20の排気流路を切り換えることにより、前記下方排気構造を介した飛散防止カップ4内の排気を停止する一方、前記上方排気構造を介した筒部材11の上部からの排気を行うようにして、現像処理中の基板Wへ気流が作用するのを防止するとともに、現像液の臭気を筒部材11の上部から排気する。
請求項（抜粋）：
基板を水平姿勢で回転可能に保持する基板保持手段と、前記基板上に現像液を吐出する現像液供給手段と、前記基板保持手段の周囲に配設された現像液回収用の飛散防止カップと、前記飛散防止カップの上端に配設された臭気拡散防止用の筒部材と、前記飛散防止カップの底部に配設された下方排気構造とを備え、前記飛散防止カップ内に飛散した現像液などのミストを前記下方排気構造を介して強制排気可能に構成された基板回転式現像装置において、前記筒部材の上部に配設された上方排気構造と、少なくとも前記基板の表面に現像液を液盛りして現像している間は、前記下方排気構造を介した飛散防止カップ内の排気を停止するとともに、前記上方排気構造を介した前記筒部材の上部の排気を行う排気切換手段と、を備えたことを特徴とする基板回転式現像装置。
引用特許：
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