特許

J-GLOBAL ID：200903007945022779

荷電ビーム描画装置

発明者： 沼賀 拓興
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-258800
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097132
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】 容易にかつより正確に荷電ビームの入射角を測定可能にする。【構成】 ステージ1に弾性変形部3を介してマーク台5を上下動自在に取り付ける。このマーク台5上にマーク6を設ける。マーク6を荷電ビーム7のほぼ光軸上に置き、マーク台5をピエゾ素子等からなる駆動装置10によって上下動させることによりマーク6を所定量上下動させる。この上下の前後にマーク6に荷電ビーム7を照射してマーク6の位置をそれぞれ検出し、マーク6の上下の変化量に対するマーク6のX・Y方向への位置の変化量を求め、これらから入射角を算出する。

請求項（抜粋）：

ステージ上に試料を設置し、このステージをその上面に沿うX・Y方向へ移動させつつ上方から試料に荷電ビームを照射して描画する荷電ビーム描画装置において、前記ステージに弾性変形部を介して上下動自在に取り付けられたマーク台と、このマーク台上に設けられた荷電ビーム位置検出用のマークと、前記マーク台を上下動させてマークを所定量上下動させるための駆動装置とを有し、前記マークの高さを変えて荷電ビームにより該マークの位置を検出することにより荷電ビームの入射角を測定可能に構成されていることを特徴とする荷電ビーム描画装置。

FI (3件)：

H01L 21/30 541 D ,  H01L 21/30 541 M ,  H01L 21/30 541 K