酸化チタン薄膜の形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-158222
公開番号（公開出願番号）：特開平11-011981
出願日： 1997年06月16日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】高品質な酸化チタン被膜を、基体表面に高速、高収率、かつ安定して連続的に被覆できるようにすること。【解決手段】有機チタン化合物、チタン塩化物および/またはそれらの複合化合物からなる非キレートチタン化合物を出発原料として、基体表面に酸化チタン被膜を析出させる方法において、1モルの非キレートチタン化合物に対し0.02〜1.5モルの割合のキレート結合し得る化合物を準備し、両化合物混合蒸気をキャリアーガスによって基体表面に導く過程で反応せしめ、更に基体表面上において、該化合物を分解するとともに、基体表面に酸化チタンを析出させる。

請求項（抜粋）：

有機チタン化合物、チタン塩化物、および/またはそれらの複合化合物からなる非キレートチタン化合物を出発原料として、基体表面に酸化チタン被膜を析出させる方法において、1モルの非キレートチタン化合物に対し0.02〜 1.5モルの割合のキレート結合し得る化合物を準備し、両化合物の混合蒸気をキャリアーガスによって基体表面に導く過程で反応せしめ、更に基体表面上において、該化合物を分解するとともに、基体表面に酸化チタンを析出させることを特徴とする酸化チタン薄膜の形成方法。

IPC (5件)：

C03C 17/245 , B01J 21/06 , C01G 23/04 , C23C 16/40 , G02B 1/10

FI (5件)：

C03C 17/245 Z , B01J 21/06 M , C01G 23/04 C , C23C 16/40 , G02B 1/10 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

窓用ガラス
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-228307 出願人：日本曹達株式会社, 財団法人神奈川科学技術アカデミー, 藤嶋昭, 橋本和仁, 彌田智一
特開昭55-090441

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