特許
J-GLOBAL ID：200903007950772816
酸化亜鉛膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-186499
公開番号（公開出願番号）：特開平10-030179
出願日： 1996年07月17日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：
【要約】【課題】酸化亜鉛膜の膜質の向上,安定化などを図った酸化亜鉛膜の製造方法を提供する。【解決手段】反応性スパッタ装置1は、反応ガスにアルゴン(Ar)5aと酸素(02 )5bの混合物を用い、マイクロ(μ)波22Aを受容してプラズマ2を生成するプラズマ生成室21,処理室5,電磁コイル31,ターゲット6に負の直流バイアス電位を与える直流電源装置61等を備える。処理室5内には、プラズマ流2Aを取り巻いて設置された金属亜鉛製のターゲット6、プラズマ導入穴51と対向させて設置されヒータを内蔵し酸化亜鉛(ZnO)膜を被着させるべき被着対象物1Aを載置する基板ステージ52が設けられる。そうして被着対象物1AへのZnO膜の主要な成膜条件は、μ波のパワーが400〔W〕、直流バイアス条件が300〔V〕,150〔W〕、反応ガス圧力が約0.13〔Pa〕、反応ガス流量比「Ar/(Ar+O2 )」が95〔%〕である。
請求項（抜粋）：
酸化亜鉛の膜を被着するべき被着対象物を保持する保持機構の方式がDeposition-Down方式であり,反応性ガスの供給下において亜鉛製のターゲットに負の直流電圧を印加しつつ,ECRプラズマを用いて反応性スパッタ法により被着対象物への酸化亜鉛の膜の被着を行う酸化亜鉛膜の製造方法において、反応性ガスにアルゴンと酸素とを用い、「アルゴン/(アルゴン+酸素)」の値を0.5程度から0.95程度の範囲とし、ターゲットの表面に酸化膜が生成されないようにして酸化亜鉛の膜の作製を行うことを特徴とする酸化亜鉛膜の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/35 F
, C23C 14/08 C
