特許

J-GLOBAL ID：200903007962496954

微量ガス分析装置

発明者： 吉木 昌彦 ,  山崎 英之 ,  富田 充裕 ,  鈴木 健 ,  本間 美規 ,  畠中 達也 ,  斎藤 和男
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-117063
公開番号（公開出願番号）：特開平8-315767
出願日： 1995年05月16日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 試料ガスの絶対検出感度を上げ、バックグランドに対するシグナルの検出効果向上可能な微量ガス分析装置を提供する。【構成】 真空容器内の試料ガスをイオン化し、分析するガス分析装置であり、イオン化領域4を試料導入部5と対向させ、かつ該導入部との距離を試料ガス分子の平均自由行程の10分の1以下となるようにして設けた装置。

請求項（抜粋）：

真空容器内に導入又は発生した試料ガスに含まれる分子をイオン化し、該イオンの物理的性質を利用して、該分子を識別かつ計数するガス分析装置であって、イオン化領域が試料又はガス状試料導入口と対向して設けられ、かつ該イオン化領域とそれらの間の距離が該分子の平均自由行程λの10分の1以下であることを特徴とする微量ガス分析装置。

IPC (2件)：

H01J 49/10 ,  G01N 27/62

FI (2件)：

H01J 49/10 ,  G01N 27/62 G

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-255659
  
• 特開昭62-150645
  
• 特開平4-255659
  
• 特開昭62-150645