特許

J-GLOBAL ID：200903007967274216

光学素子支持装置及び鏡筒並びに露光装置

発明者： 池田 正俊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-200986
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028898
出願日： 1998年07月15日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 光学素子におけるたわみの発生量を低減でき、光学素子の高い光学性能を容易に確保可能な光学素子支持装置及び鏡筒、そして高精度の投影露光が可能な露光装置を提供する。【解決手段】 平面鏡43の裏面Fbの所定位置に第1〜第3凹部63a、63cを穿設する。第1凹部63a内には平面鏡43と枠体64との両対向面間の相対傾動を許容するチルト機構を備えた第1の支持体61を、第2、第3凹部63c内には前記チルト機構に加えて前記両対向面間の相対平行移動を許容する平行シフト機構を備えた第2の支持体62をそれぞれ配置する。そして、前記チルト機構の傾動中心Ctが平面鏡43の表面Frと裏面Fbとのほぼ中央に位置するように、平面鏡43の裏面Fbと枠体64の壁面64aとを前記各支持体61、62を介して連結し、平面鏡43を枠体64上に支持する。

請求項（抜粋）：

光を入射または出射する面を有する光学素子を支持する光学素子支持装置において、前記面を同面と平行な方向に変位可能に、前記光学素子を支持する支持機構を備えた光学素子支持装置。

IPC (3件)：

G02B 7/182 ,  G02B 7/02 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 7/18 Z ,  G02B 7/02 C ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 517

Fターム (11件)：

2H043CB01 ,  2H043CD00 ,  2H044AC01 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB20 ,  5F046CB25 ,  5F046CB27