特許

J-GLOBAL ID：200903007970509585

蒸気乾燥装置、それを組込んだ洗浄装置および蒸気乾燥方法

発明者： 田中 博司 ,  土井 伸昭 ,  大森 雅司 ,  石川 博章
出願人/特許権者： 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社 ,  三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-003247
公開番号（公開出願番号）：特開平8-189768
出願日： 1995年01月12日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】 被乾燥物の表面への異物残存や不純物付着を防止できるように改良された蒸気乾燥装置を得ることを目的とする。【構成】 処理室11の取出し口71を、処理室の蓋12が上から閉じている。処理室11の内側壁面は、その下方部分に形成された、重力方向に対して実質的に平行な第1の面72と、第1の面72の上端部から延び、かつ蓋12の内壁面と向き合うように外方に折曲げられた第2の面73とを有する。第2の面73には、処理室11内に処理液蒸気302を送り込むための蒸気供給口74が設けられている。蒸気供給口74には、処理室11内に処理液蒸気302を送り込むための蒸気供給手段13が接続されている。

請求項（抜粋）：

被乾燥物を処理液蒸気に晒すことにより、該被乾燥物を乾燥させる蒸気乾燥装置であって、前記被乾燥物の出し入れを行なうための取出し口を、その上端に有し、かつ該被乾燥物を収納するための処理室と、前記処理室の前記取出し口を上から閉じ、該処理室を密封するための蓋と、を備え、前記処理室の内側壁面は、その下方部分に形成された、重力方向に対して実質的に平行な第1の面と、前記第1の面の上端部から延び、かつ前記蓋の内壁面と向き合うように外方に折曲げられた第2の面と、を有し、前記第2の面には、該処理室内に前記処理液蒸気を送り込むための蒸気供給口が設けられており、当該装置は、さらに、前記蒸気供給口に接続され、該処理室内に前記処理液蒸気を送り込むための蒸気供給手段を備える、蒸気乾燥装置。

IPC (4件)：

F26B 21/00 ,  F26B 3/04 ,  F26B 9/06 ,  H01L 21/304 361