特許
J-GLOBAL ID:200903007982525322
画像処理オートフォーカス補助機構
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山田 義人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-232343
公開番号(公開出願番号):特開2001-056430
出願日: 1999年08月19日
公開日(公表日): 2001年02月27日
要約:
【要約】【構成】 顕微鏡10はCCDカメラ12を含み、CCDカメラ12は画像処理装置に接続される。CCDカメラは被検査物(ワーク)44の像を撮影することができる。自動焦点調整(オートフォーカス)処理が開始されると、画像処理装置の指示に従って絞り羽根22bの像が視野に入る大きさに絞りが調整される。したがって、ワーク44の像に絞り羽根22bの像が重ねられた像がCCDカメラ12で撮影される。画像処理装置では、絞り羽根22bの像のディジタルデータからコントラストを算出し、このコントラストに基づいてフォーカスポイントを決定する。【効果】 絞り羽根の像に基づいてオートフォーカス処理を実行するので、被検査物の表面の状態に拘わらずオートフォーカス処理を実行することができる。
請求項(抜粋):
物体用ステージに載せられた物体の光像を対物レンズおよびハーフミラーを通してカメラに入射させ、光源からの光を絞りおよび集光レンズを通して前記ハーフミラーに入射させるような画像処理装置において、前記絞りの像を前記カメラに映し込み、前記絞りの像のコントラストによって自動焦点調整を行うようにした、画像処理オートフォーカス装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (10件):
2H051AA11
, 2H051BA47
, 2H051BA70
, 2H051CB06
, 2H051CB11
, 2H051CC13
, 2H051EB04
, 2H051EB19
, 2H052AC04
, 2H052AD09
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