特許

J-GLOBAL ID：200903007985228957

テープ貼り機

発明者： 後村 一夫 ,  竹沢 享 ,  斎藤 勲
出願人/特許権者： 株式会社ディスコエンジニアリングサービス
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343633
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177243
出願日： 1992年12月01日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 フレームとウェーハを粘着テープによって一体にするテープ貼り機であって、装置自体が小型で安価であり、且つ作業性に優れたものを提供する。【構成】 ロール状の粘着テープが装着されるテープ送り出し部と、使用済みの粘着テープを巻き取るテープ巻き取り部と、フレームとウェーハとに粘着テープを貼着するテープ貼着可動ローラーと、前記フレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとを具備するテープ貼り機であって、前記フレームとウェーハとを載置固定するテーブルが、粘着テープの送り方向に対して直角方向に進退し、作業領域とテープ貼着領域とに位置付けられるように構成する。

請求項（抜粋）：

ロール状の粘着テープが装着されるテープ送り出し部と、使用済みの粘着テープを巻き取るテープ巻き取り部と、フレームとウェーハとに粘着テープを貼着するテープ貼着可動ローラーと、前記フレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターと、を具備するフレームとウェーハとを粘着テープによって一体にするテープ貼り機であって、前記フレームとウェーハとを載置固定するテーブルが粘着テープの送り方向に対して直角方向に進退し、作業領域とテープ貼着領域とに位置付けられるテープ貼り機。

IPC (3件)：

H01L 21/78 ,  B65H 37/04 ,  H01L 21/68