特許

J-GLOBAL ID：200903007987431253

振れ検出装置

発明者： 天沼 辰男 ,  大石 末之 ,  松澤 昌人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-092630
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294980
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 誤差の少ない増幅された振れ検出信号を検出することのできる振れ検出装置を提供することを目的とする。【構成】 振れを検出し該検出結果に基づき検出信号を出力する検出装置と、前記検出装置によって検出された検出信号を増幅する増幅装置と、前記増幅装置を初期化する初期化装置と、前記増幅装置を初期化させた場合の前記増幅装置の出力と前記増幅装置を初期化させずかつ前記検出装置からの前記検出信号が出力されない状態での前記増幅装置の出力とがほぼ同じ値となるように前記増幅装置の出力を調節する調整装置とを含む。

請求項（抜粋）：

振れを検出し該検出結果に基づき検出信号を出力する検出装置と、前記検出装置によって検出された検出信号を増幅する増幅装置と、前記増幅装置を初期化する初期化装置と、前記増幅装置を初期化させた場合の前記増幅装置の出力と前記増幅装置を初期化させずかつ前記検出装置からの前記検出信号が出力されない状態での前記増幅装置の出力とがほぼ同じ値となるように前記増幅装置の出力を調節する調整装置とを含むことを特徴とする振れ検出装置。

IPC (3件)：

G03B 5/00 ,  G01H 17/00 ,  G03B 17/00