収容装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村上智司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-052730
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261070
出願日： 2001年02月27日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】【課題】移動体が配設される領域と駆動装置が配設される領域と間の気体の流通を、高度に遮断し得る収容装置を提供する。【解決手段】移動体21及び駆動装置40の一方若しくは双方を収容する収容装置である。移動体21の移動方向に沿った開口部を有し、移動体21と駆動装置40との間に配設される仕切り部材11a,14,16と、移動体21及び駆動装置40の一方若しくは双方を囲繞するカバー体11と、仕切り部材11a,14,16の開口部内に設けられ、移動体21と駆動装置40とを連結する連結具55,56,57,58と、連結具55,56,57,58に連結され、開口部内でこれに沿って延在するように配設されたシート体65,66とを設ける。仕切り部材11a,14,16は、その開口部の両縁部がそれぞれ筒状に形成され、且つ一対の各筒状部13,15には、相互に対向する面に切り欠き溝が形成され、シート体65,66は、その両側縁部がそれぞれ切り欠き溝から筒状部13,15内に挿入せしめられる。

請求項（抜粋）：

移動体及び該移動体を駆動する駆動装置の一方若しくは双方を収容する収容装置であって、前記移動体の移動方向に沿った開口部を有し、前記移動体と駆動装置との間に配設される仕切り部材と、前記仕切り部材と協働して前記移動体及び駆動装置の一方若しくは双方を囲繞するカバー体と、前記仕切り部材の開口部内に設けられ、前記移動体と駆動装置とを連結する連結具と、前記開口部内の連結具に連結され、前記開口部内で前記移動方向に沿ってその前後に延在するように配設された帯状のシート体とを備えてなるとともに、前記仕切り部材は、その開口部の前記移動方向に沿った両縁部がそれぞれ筒状に形成され、且つ該一対の各筒状部には、相互に対向する面に前記移動方向に沿った切り欠き溝が形成され、前記シート体は、その両側縁部がそれぞれ前記切り欠き溝から前記筒状部内に挿入せしめられてなり、前記移動体と前記駆動装置とを、前記仕切り部材,連結具及びシート体によって隔てるように構成されてなる収容装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 648 , H01L 21/304 , B23Q 11/08 , G12B 9/04

FI (4件)：

H01L 21/304 648 A , H01L 21/304 648 Z , B23Q 11/08 Z , G12B 9/04

Fターム (5件)：

2F078EA07 , 2F078EA28 , 2F078EB07 , 2F078EC12 , 3C011DD01

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