ガス供給装置の制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-052661
公開番号（公開出願番号）：特開平11-226386
出願日： 1998年02月19日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】【課題】 1つの配管に接続された充填容器の各々についてガスが所定の残量になるまで使用することができ、効率的且つ経済的に充填容器の交換が可能であり、さらに装置を停止することなく連続してガスを供給することができるガス供給装置およびガス供給装置の制御方法を提供する。【解決手段】複数が並列に接続された容器毎に設けた残量測定手段により、最初に内容物の残量が予め設定された所定の基準値下回った容器の残量測定手段は、これが取り付けられた容器に対応する第1の制御手段を制御し、同容器からの内容物の吐出を停止する。このまま他の容器からの内容物の吐出は続行し、続いて内容物の残量が予め設定された所定の基準値を下回った容器から順次吐出を停止する。

請求項（抜粋）：

複数の容器(1-1、1-2・・・1-n)の各々に対して内容物(2)の残量を測定する複数の残量測定手段(9-1、9-2・・・9-n)と、前記複数の容器の各々に対して前記残量測定手段の測定結果に基づいて前記内容物の吐出量を制御する複数の第1の制御手段(16-1、16-2・・・16-n)とを具備することを特徴とするガス供給装置。

IPC (3件)：

B01J 4/00 102 , G01L 19/08 , H01L 21/205

FI (3件)：

B01J 4/00 102 , G01L 19/08 , H01L 21/205

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