特許
J-GLOBAL ID：200903007989607332
位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-288040
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132510
出願日： 1996年10月30日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】微小領域の被測定部が不規則な粗面であっても被測定部の位置を高精度に検出することができる位置検出装置を提供する。【解決手段】被測定部Mの大きさと略同じか或はそれよりも大きな面積を有する照明光束を光軸O1を中心として二次元的に走査するための平行平面ガラス12を有する投影光学系10により光源11から出射された照明光束が被測定部Mに集光され、被測定部Mの大きさを決める光束制限用の絞り15が設けられた受光光学系20により被測定部Mからの反射光束が受光手段21,22に入射され、平行平面ガラス12による走査中に受光手段21,22に入射された反射光束の光量値に基づいて被測定部Mの位置が検出される。
請求項（抜粋）：
光源から出射された照明光束を被測定部に集光させる投影光学系と、被測定部からの反射光束を受光手段に入射させる受光光学系と、前記受光手段に入射された反射光束の光量に基づいて被測定部の位置を検出する検出手段とを備えた位置検出装置において、被測定部の大きさを決めるために前記受光光学系に固定配置された光束制限用絞りと、被測定部の大きさと略同じか或はそれよりも大きな面積を有する照明光束を前記投影光学系の光軸を中心として二次元的に走査するための走査手段とを設け、前記検出手段は、前記走査手段による走査中に前記受光手段に入射された反射光束の光量値に基づいて被測定部の位置を検出することを特徴とする位置検出装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G01C 3/06
, G02B 7/28
, G03B 13/36
G01B 11/00 A
, G01C 3/06 A
, G02B 7/11 H
, G03B 3/00 A
