特許

J-GLOBAL ID：200903007990489343

露光装置

発明者： 福嶋 亨 ,  大江 敦司
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-303690
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161604
出願日： 1993年12月03日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】プレート搬送経路が短縮されると共にプレートの方向変換が不要となり、搬送に要する無駄な待ち時間を最小限に抑えることができる露光装置を提供することにある。【構成】複数のプレートPを収納する第1と第2のカセット21,22と、前記プレートPに露光するための露光ステージ33と、前記第1と第2のカセット21,22と露光ステージ33との間に設けられ3者を一直線上に配置すると共に、前記第1のカセット21に収納されたプレートPを取出して前記露光ステージ33に搬入し、この露光ステージ33から露光済みのプレートPを取出して前記第2のカセット22に収納するカセットアーム28とステージアーム30とからなるプレート搬入搬出機構24とから構成したことにある。

請求項（抜粋）：

複数のプレートを収納するカセットと、前記プレートに露光するための露光ステージと、前記カセットと露光ステージとの間に設けられ3者を一直線上に配置すると共に、前記カセットに収納されたプレートを取出して前記露光ステージに搬入し、この露光ステージから露光済みのプレートを取出して前記カセットに収納するプレート搬入搬出機構とを具備したことを特徴とする露光装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B65G 1/00 543 ,  B65G 49/05 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68