特許
J-GLOBAL ID：200903008000077549
乾燥装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-222153
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055336
出願日： 1993年08月13日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 蒸気乾燥に使用される溶剤のランニングコストの低減を図ると共に、溶剤の希釈化防止及び溶剤の再利用を図れるようにした乾燥装置を提供する。【構成】 被乾燥体Aを収容する乾燥室1の下部に、溶剤槽5と、この溶剤槽5内の溶剤を加熱するヒーター6とからなる蒸気発生部2を設ける。乾燥室1と蒸気発生部2との連通部に冷却管7を配設し、この冷却管7に切換バルブ9a,9bを介して冷却水供給源10と空気供給源11を接続して、冷却管7内に冷却水又は空気を選択的に供給可能にする。これにより、冷却管7内に冷却水を供給することによって溶剤蒸気を凝結して蒸気発生部2に戻すことができ、また、冷却管7内に空気を供給することによって蒸気発生部2から生成される溶剤蒸気を乾燥室1内に供給することができる。
請求項（抜粋）：
被乾燥体を収容する乾燥室と、蒸気発生部とを具備し、上記被乾燥体の付着水を気化潜熱の少ない有機溶剤の蒸気と置換し、付着水を除去する蒸気乾燥装置において、上記乾燥室と蒸気発生部との連通部に冷却管を配設し、上記冷却管に切換手段を介して冷却媒体供給源と気体供給源を接続して、冷却管内に冷却媒体又は気体を選択的に供給可能にすることを特徴とする乾燥装置。
IPC (2件)：
F26B 19/00
, H01L 21/304 361
