特許
J-GLOBAL ID：200903008004050009
圧電振動子配列体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 勝彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-110381
公開番号（公開出願番号）：特開平9-272206
出願日： 1996年04月05日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】 たわみ振動モードの圧電振動子の列に駆動信号を確実に供給すること。【解決手段】 少なくとも表面が電気絶縁性を備えて弾性変形可能な振動板の表面に一定のピッチで列状に形成された共通電極30、31と、振動板の表面の非振動領域に形成されて共通電極30、31の一端と接続し、共通電極30、31よりも厚い層として形成された共通電極引出用電極32と、共通電極30、31の表面に形成された圧電振動子6a、6bと、その表面に形成され駆動電極33、34とを備えたので、振動領域には可及的に薄い共通電極30、31を形成して振動に障害を与えないようにして、直近の振動とは関りがない領域に導電度を重視して形成された共通電極引出用電極32を介して信号を印加する。
請求項（抜粋）：
少なくとも表面が電気絶縁性を備えて弾性変形可能な板材と、該板材の表面に一定のピッチで列状に形成された共通電極と、前記板材の表面の非振動領域に形成されて前記共通電極の一端と接続し、前記共通電極よりも厚い層として形成された共通電極引出用電極と、前記共通電極の表面に形成された圧電振動子と、前記圧電振動子の表面に形成され、一端が前記板材の表面に延長された駆動電極とからなる圧電振動子配列体。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 C
