ワイヤボンダ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-037995
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236567
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】短時間で確実にボンディングワイヤにおける目標のボールサイズを自動的に設定する。【構成】放電ユニット4の印加電圧を任意に2箇所程度可変させてボールを形成し、それぞれのイニシャルボール径をカメラ5からの映像に基づいてボール認識測定部6が測定する。それら任意の印加電圧に対して形成されるイニシャルボール径は比例関係となるので、その後、作業者が形成したい目標のイニシャルボール径を設定部7から入力すると、制御部8がそれらの比例関係に基づいて目標のイニシャルボール径を形成するのに見合った印加電圧が放電ユニット4から出力されるように制御を行い、目標の大きさのボールを自動的に形成する。

請求項（抜粋）：

ボンディングワイヤの先端部に形成されるワイヤボンディングにおける接続用のボールを所定の比例条件に基づいて自動的に目標のボールサイズに形成するボールサイズ自動設定手段を設けたことを特徴とするワイヤボンダ。

IPC (2件)：

H01L 21/60 301 , G01B 11/08

FI (2件)：

H01L 21/60 301 H , G01B 11/08 H

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