特許
J-GLOBAL ID：200903008015995706

放射線の位相角を直接測定する方法および装置

発明者：
ライナー フーバー

ライナー フーバー について

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ユンリ スン

ユンリ スン について

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ベルンド ライトナー

ベルンド ライトナー について

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ハンス シュタインビッヘラー

ハンス シュタインビッヘラー について


出願人/特許権者：
シュタインビッヘラー オプトテクニーク ゲーエムベーハー

シュタインビッヘラー オプトテクニーク ゲーエムベーハー について


代理人 (1件)： 大石 皓一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345862
公開番号（公開出願番号）：特開2000-186964
出願日： 1999年12月06日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】【課題】 物体によって反射され、あるいは、透明な物体を透過した放射線、とくに光の位相角を直接測定する方法および装置であって、改良された位相角測定方法および位相角測定方法装置を提供する。【解決手段】物体3にあらかじめ定められた周波数を有するコヒーレントな放射線2を照射し、あるいは、物体3を放射線を拡散的に反射する粒子を含むラッカーによって被覆して、物体3にあらかじめ定められた周波数を有する非コヒーレントな放射線2を照射し、物体3から反射された放射線あるいは物体3を透過した放射線を、画像形成光学システム6によって、センサ8が位置しているイメージ平面7内に、画像化し、シャーリング法によって生成された参照放射線を、センサ8上に重ね合わせ、物体3からの放射線5の位相を、センサ8の測定信号から決定する方法において、画像形成光学システム6が、アパーチャー、好ましくは、スリット20を有するダイアフラム19、あるいは、2つのアパーチャー、好ましくは、2つのスリット12、13を有するダイアフラム11を備えたことを特徴とする位相角測定方法。
請求項（抜粋）：
物体3によって反射され、あるいは、透明な物体を透過した放射線、とくに光の位相角を直接測定する方法であって、前記物体3に、あらかじめ定められた周波数を有するコヒーレントな放射線2を照射し、あるいは、前記物体3を、放射線を拡散的に反射する粒子を含むラッカーによって被覆して、前記物体3に、あらかじめ定められた周波数を有する非コヒーレントな放射線2を照射し、前記物体3から反射された放射線あるいは前記物体3を透過した放射線を、画像形成光学システム6によって、センサ8が位置しているイメージ平面7内に、画像化し、シャーリング法によって生成された参照放射線を、前記センサ8上に重ね合わせ、前記物体3からの放射線5の位相を、前記センサ8の測定信号から決定する方法において、前記画像形成光学システム6が、アパーチャー、好ましくは、スリット20を有するダイアフラム19、あるいは、2つのアパーチャー、好ましくは、2つのスリット12、13を有するダイアフラム11を備えたことを特徴とする位相角測定方法。
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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