特許
J-GLOBAL ID：200903008016034491
プレートヒータ及びその製法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-046840
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260430
出願日： 1993年03月08日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 発熱線体からの赤外線透過が可能で、発熱線体部分への周囲ガスの侵入及び発熱線体からの不純物飛散が防止され、さらに、変形が抑制され、半導体製造装置は勿論のこと、その他においても被処理基体の加熱に利用できる寿命の長いプレートヒータ及びその簡単、確実な製法を提供する。【構成】 平面的配置の発熱線体3を石英板1、2で挟み込み、これら石英板の周縁部11、23全周を溶接封止したプレートヒータA及びその製法。
請求項（抜粋）：
平面的配置の発熱線体を石英板で挟み込み、これら石英板の周縁部全周を石英で溶接封止したことを特徴とするプレートヒータ。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
, H01L 21/68
