特許

J-GLOBAL ID：200903008019966026

検査教示装置および方法

発明者： 石川 文男 ,  伊藤 泉
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-002226
公開番号（公開出願番号）：特開平8-190575
出願日： 1995年01月10日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、CADの図面情報に基づいて、測定手順を作成する検査教示装置およびその方法に関し、測定手順および測定結果の処理手順の作成を効率良く行いつつ、測定事項の変更に柔軟に対応することを目的とする。【構成】 測定対象を示す図面情報を記憶する図面記憶手段1と、その図面記憶手段1に記憶された図面情報を取り込み、その図面情報と外部から与えられる測定事項との対応関係に基づいて、測定手順を作成する測定手順作成手段2と、測定手順を実行して得られる測定結果を、測定事項に対応する図面情報の位置に挿入して検査図面を製作する処理手順を作成する処理手順作成手段3とを備えて構成される。

請求項（抜粋）：

測定対象を示す図面情報を記憶する図面記憶手段と、前記図面記憶手段に記憶された図面情報を取り込み、その図面情報と外部から与えられる測定事項との対応関係に基づいて、測定手順を作成する測定手順作成手段と、前記測定手順を実行して得られる測定結果を、前記測定事項に対応する前記図面情報の位置に挿入して検査図面を製作する処理手順を作成する処理手順作成手段と、を備えたことを特徴とする検査教示装置。