露光装置の露光特性検査方法、および露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本勝徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-168642
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356831
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】振り分け機能を利用することによって、通常使用する印画紙を用いて、その印画紙の幅以上の幅のライン露光手段の検査をすること。【解決手段】検査運転モードに切り換えて、89センチ幅の印画紙Pを4列に振り分けるという検査条件を決定する。1列目は中心から奥へ92.5mmの位置に振り分け、2列目は奥へ30.5mmの位置に振り分け、3列目は中心から手前へ30.5mmの位置に振り分け、4列目は中心から手前へ92.5mmの位置に振り分ける。このように振り分けて露光することによって、PLZTヘッド61の全幅の内の274mm の部分の露光素子の特性を検査する。

請求項（抜粋）：

感光材料を搬送方向に対して横並びに複数枚並べて搬送するための感光材料振り分け機能を有した搬送機構を備えるとともに、横並びに搬送される複数の感光材料にライン露光し得るように構成されたライン露光手段を備えた露光装置の露光特性検査方法であって、前記ライン露光手段の検査対象の幅より狭い幅の感光材料を、前記感光材料振り分け機能を用いてライン露光手段の検査対象の幅の一方の端から他方の端までの全域に、2列以上に横並びに並べて搬送して、前記ライン露光手段を用いて所定のテスト画像を露光することによって、前記ライン露光手段の検査対象の全域の露光特性を検査することを特徴とする露光特性検査方法。

IPC (2件)：

G03B 27/72 , G03B 27/46

FI (2件)：

G03B 27/72 Z , G03B 27/46

Fターム (16件)：

2H106AA41 , 2H106AA71 , 2H106AB45 , 2H106AB53 , 2H106AB63 , 2H106AB92 , 2H106BA11 , 2H106BA35 , 2H106BA53 , 2H106BA55 , 2H106BA75 , 2H110AC14 , 2H110CB22 , 2H110CB56 , 2H110CB70 , 2H110CB73

引用特許：

審査官引用 (5件)

画像露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-006160 出願人：ノーリツ鋼機株式会社
画像情報記録方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-111499 出願人：グレタークイメージングアクチェンゲゼルシャフト
画像露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-068108 出願人：ノーリツ鋼機株式会社

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