特許

J-GLOBAL ID：200903008033119840

探針プロ-ブカ-ド及びウエハ-検査方法

発明者： 松山 英二
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 堀 城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-011447
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216204
出願日： 1999年01月20日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、ウエハーレベルの複数の固体撮像素子チップに対する光学特性検査を同時に短時間でかつ低コストで実行する探針プローブカード及びウエハー検査方法を提供することを課題とする。【解決手段】 細長いチップ形状を有し1列構成または2列構成の検査パットがチップの端側の一方または両方に形成されたウエハーレベルの複数の固体撮像素子チップに対する光学特性検査を同時に実行する探針プローブカードであって、カードの同一平面上に形成された複数の探針プローブ群を有し、前記複数の探針プローブ群の各々を構成する探針プローブは、針先が相互に交差しないように千鳥配列され、前記複数の探針プローブ群の各々は、隣接する探針プローブ群とプローブ探針先が交差しないように所定距離だけ離間されている探針プローブ配置構造を備えている。

請求項（抜粋）：

細長いチップ形状を有し1列構成または2列構成の検査パッドがチップの端側の一方または両方に形成されたウエハーレベルの複数の固体撮像素子チップに対する光学特性検査を同時に実行する探針プローブカードであって、カードの同一平面上に形成された複数の探針プローブ群を有し、前記複数の探針プローブ群の各々を構成する探針プローブは、針先が相互に交差しないように千鳥配列され、前記複数の探針プローブ群の各々は、隣接する探針プローブ群とプローブ探針先が交差しないように所定距離だけ離間されている探針プローブ配置構造を備えていることを特徴とする探針プローブカード。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073

FI (2件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/073 E

Fターム (13件)：

2G011AA17 ,  2G011AC11 ,  2G011AE03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AB09 ,  4M106BA01 ,  4M106BA04 ,  4M106BA14 ,  4M106CA17 ,  4M106DD04 ,  4M106DD10 ,  4M106DD23

引用特許：

審査官引用 (1件)

• プローブカードおよびそのプローブカードを使用した半導体集積回路のプロービング試験方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-249531   出願人：株式会社東芝