特許
J-GLOBAL ID：200903008033155049
基板移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-073357
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235147
出願日： 1992年02月24日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 1枚の基板の搬送と複数枚の基板の搬送とに切換えることができるとともに移載時における基板の間隔変更に対応できるものを、装置全体を大型化せずに提供する。【構成】 移送機構3によって基板保持具2を基板受け渡し位置と退避位置とにわたって移送するように構成し、基板保持具2に、固定の基板保持部材9と可動の基板保持部材10...とを設け、その可動の基板保持部材10...を、ステッピングモータ13...により昇降可能に、かつ、固定の基板保持部材9と平面視で重複した作用姿勢とそれから遠ざかる非作用姿勢とに回転変位可能に設ける。
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板保持部材を複数個備えた基板保持具と、その基板保持具を基板受け渡し位置と退避位置とにわたって移送する移送機構とを備えた基板移載装置において、前記基板保持部材のうちの1個を前記基板保持具に固定状態で設けるとともに、他の可動の基板保持部材を、駆動機構を介して、昇降可能に、かつ、前記固定の基板保持部材と平面視で重複した作用姿勢とそれから遠ざかる非作用姿勢とに回転変位可能に設けたことを特徴とする基板移載装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/22
, H01L 21/324
