特許
J-GLOBAL ID:200903008038409286

複単色計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-244202
公開番号(公開出願番号):特開平7-098250
出願日: 1993年09月30日
公開日(公表日): 1995年04月11日
要約:
【要約】【目的】 少ない光学部品点数で非点収差が生じにくくかつ分解能又はダイナミックレンジを高くできる複単色計を得る。【構成】 外部から入射した被測定光を偏平光に変換して第1の方向へ出力する入射光学手段22と、幅方向が曲線形状で軸方向が直線形状に形成され、前記第1の方向から入射した各光を平行光に変換して第2の方向へ出力し、この第2の方向から入射した各平行光を第1の方向に集光させる光変換手段23と、光変換手段から出力された各平行光を分光して各回折光を光変換手段23へ入射させる分光手段25と、光変換手段23を経由した各回折光を通過させるスリット手段26と、このスリット手段26を通過した各回折光を光変換手段23へ折返して再度前記分光手段25へ入射させる折返し手段27とを具備することによって、一つの分光手段25で被測定光に対して複数回に亘って分光している。
請求項(抜粋):
外部から入射した被測定光を偏平光に変換して第1の方向へ出力する入射光学手段(22,41) と、幅方向が曲線形状で軸方向が直線形状に形成され、前記第1の方向から入射した各光を平行光に変換して第2の方向へ出力し、この第2の方向から入射した各平行光を前記第1の方向に集光させる光変換手段(23,32a,32b,40,43)と、この光変換手段から出力された各平行光を分光して各回折光を前記光変換手段へ入射させる分光手段(25,25a,34) と、前記光変換手段を経由した各回折光を通過させるスリット手段(26,35b)と、このスリット手段を通過した各回折光を前記光変換手段へ折返して再度前記分光手段へ入射させる折返し手段(27,31,35a,35c) とを備えた複単色計。
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平3-099238

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