特許

J-GLOBAL ID：200903008040448698

TEM評価試料及びその作成方法

発明者： 福本 晃二
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-064070
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261894
出願日： 1995年03月23日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 定量分析を可能にするTEM評価試料作成方法およびその作成方法を得る。【構成】 TEM観察面6をTEM評価試料4表面上に傾斜する。またTEMによる観察時に照射する電子ビームの入射側のTEM評価試料4をその表面から裏面にかけて垂直に切り落とた形状とす。【効果】 TEM観察面での散乱電子がTEM評価試料に衝突しにくくなり、TEMによる元素分析の定量的分析を可能にする。

請求項（抜粋）：

透過型電子顕微鏡(TEM)によって観察するためのTEM観察面を有するTEM評価試料であって、前記TEM観察面は、前記TEMが照射する電子ビームの入射側において、前記TEM評価試料の表面とのなす角が90度より大きい傾斜角を備えたTEM評価試料。

IPC (3件)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 1/28 F ,  G01N 1/32 B ,  H01L 21/66 L