特許

J-GLOBAL ID：200903008048708591

マイクロメカニカル共振器

発明者： 玉野 晃正 ,  岡田 光広 ,  鈴木 健一郎
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社 ,  学校法人立命館
代理人 (7件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-263463
公開番号（公開出願番号）：特開2009-094798
出願日： 2007年10月09日
公開日（公表日）： 2009年04月30日
要約：

【課題】特性ばらつきが抑制され、性能が改善されたマイクロメカニカル共振器を提供する。【解決手段】マイクロメカニカル共振器100は、基板2と、フレーム部4と、電極6とを備える。フレーム部4は、基板2上に設けられる第1、第2の端部10,12と、第1、第2の端部10,12の間で振動可能に支持される共振ビーム14とを有する。電極8は、基板2上に支持され、共振ビーム14の両端部の間に位置する部分に対向して共振ビーム14に対して静電気力を及ぼす。電極8の共振ビーム14に対向する第1の面には凹凸が形成される。好ましくは、共振ビーム14の電極8に対向する第2の面には凹凸が形成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板上に設けられる第1、第2の端部と、前記第1、第2の端部の間で振動可能に支持される共振ビームとを有するフレーム部と、 前記基板上に支持され、前記共振ビームの前記両端部の間に位置する部分に対向して前記共振ビームに対して静電気力を及ぼすための電極とを備え、 前記電極と前記共振ビームとが対向する部分において、前記電極と前記共振ビームのいずれか一方の面である第1の面には凹凸が形成される、マイクロメカニカル共振器。

IPC (3件)：

H03H 9/24 ,  B81B 3/00 ,  B06B 1/02

FI (3件)：

H03H9/24 Z ,  B81B3/00 ,  B06B1/02

Fターム (31件)：

3C081AA01 ,  3C081AA09 ,  3C081BA09 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA14 ,  3C081CA27 ,  3C081CA33 ,  3C081DA04 ,  3C081EA22 ,  5D107AA14 ,  5D107BB01 ,  5D107CC10 ,  5D107CC20 ,  5D107DD12 ,  5D107DE02 ,  5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108CC12 ,  5J108EE02 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF02 ,  5J108FF04 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 振動マイクロメカニカル素子列を利用して少なくとも1つの所望の出力周波数を有する信号を生成するための方法及び装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-579439   出願人：ザリージェンツオブザユニバーシティオブミシガン