特許
J-GLOBAL ID：200903008052629370
基板のマトリックス精度検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-326989
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184423
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 基板のマトリックス精度検査装置。【構成】 測定の基準となる格子を有するマスター基板3を液晶表示基板1に隙間をおいて重ね合わせ、この液晶表示基板1の表面を損傷することなく、あたかも液晶表示基板全面にわたって合マーク21を設けたのと同様の状態とした上で、液晶表示基板1及びマスター基板3を駆動位置決めするXYテーブル5と、XYテーブル5の位置ズレ,回転ズレの微調整を行う微動ステージ2を設け、液晶表示基板1に施工されたカラーフィルタやTFT等のマトリックスとマスター基板の格子とを同時に撮像する撮像装置を設けたものである。
請求項（抜粋）：
XYテーブルと、このXYテーブルに搭載されてXY方向の微動調整及びZ軸回りの微回動調整を行なう微動ステージとを備え、検出対象基板とこの基板と隙間をおいて重ね合せられ測定の基準となる格子を有するマスター基板との少なくとも一方を上記微動ステージに搭載し、上記マスター基板の格子と検査対象基板の検査面とを同時に撮像する撮像装置を備え、るようにした基板のマトリックス精度検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01M 11/00
, G12B 5/00
