特許
J-GLOBAL ID：200903008053515335
ガス測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-331382
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142146
出願日： 1991年11月20日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】 半導体レーザを用いて2種類のガスの濃度比を測定するガス装置において、冷却機構を用いずに簡潔な構成で濃度比を短時間に正確に測定すること。【構成】 異なる周波数で変調された2つのレーザ光がビームスプリッタ23で混合され二酸化炭素12CO2 とその同位体である二酸化炭素13CO2 とが封入された参照用セル22を透過した後光検出器24で受光され、参照用ガスの吸収波長に対応したレーザ光の発振波長が、12CO2 用波長制御装置21aと13CO2用波長制御装置21bでそれぞれ安定化されるとともに、混合されたレーザ光が測定用セル25内の濃度比を測定すべき2種類のガスを含むガスを透過した後光検出器26で受光し、12CO2 検出装置27aで12CO2 の濃度を検出し13CO2 検出装置27bで13CO2 の濃度を検出し、割算器28により13CO2 の濃度を13CO2 の濃度と12CO2 の濃度との和で割り算して濃度比を求める。
請求項（抜粋）：
発振波長および変調周波数が異なる2つの半導体レーザと、該半導体レーザから出射されるレーザ光を混合する混合手段と、濃度比を測定すべき2種類のガスを含むガスを一時的に収容する測定用セルと、前記2種類のガスと同一種類のガスが封入された参照用セルと、前記混合手段により混合され該参照用セルを透過したレーザ光を受光する第1の受光手段と、該第1の受光手段の出力から前記変調周波数に等しい周波数成分を検出し、該周波数成分に基づいて前記各半導体レーザの波長をそれぞれ安定化する波長安定化手段と、前記混合手段により混合された後前記測定用セルを透過したレーザ光を受光する第2の受光手段と、該第2の受光手段の出力から前記2種類のガスの濃度を検出する2つの検出装置と、該2つの検出装置の出力の一方の値を該2つの検出装置の出力の値の和で割り算することにより濃度比を算出する割算器とを備えたことを特徴とするガス測定装置。
IPC (3件)：
G01N 21/39
, A61B 5/08
, G01N 21/35
