特許
J-GLOBAL ID：200903008053865379
逆反射スクリーンによる表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096163
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306150
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】 光源とカメラとを実質的に近接位置に配設できる構成により,検査不能領域の発生を抑えた逆反射スクリーンによる表面検査装置を提供する。【構成】 逆反射スクリーン2による表面検査装置を構成するカメラ3の視野内に半透過鏡6を配置して,カメラ視野外に配置した光源4からの光を上記半透過鏡6で検査対象物5方向に反射させて投光し,検査対象物5で反射した光が逆反射スクリーン2で反射して再び検査対象物5で反射された再反射光を半透過鏡6を透過させてカメラ3で捕らえることができる。従って,カメラ3と光源4とを至近位置に配置したと同等の状態が得られるので,従来構成でカメラ3と光源4との位置が離れていることにより発生する検査不能の領域,即ち不感帯の発生を小さくすることができる。
請求項（抜粋）：
逆反射スクリーンと,光源と,検査対象物とを,上記光源からの光が上記検査対象物で反射して上記逆反射スクリーンに向かうような相対的位置に配置し,検査対象物の表面を上記光源で照射したときの反射光を逆反射スクリーンで検査対象物に戻し,該検査対象物の表面で再反射した光をカメラで捕らえることにより,検査対象物表面の欠陥部分の凹凸変化を明暗変化に強調された画像として検出する逆反射スクリーンによる表面検査装置において,上記検査対象物から上記カメラへ向かう再反射光を透過させ,上記光源からの光を検査対象物へ反射させる半透過鏡を,少なくともその一部が上記カメラの視野にかかる位置に設置したことを特徴とする逆反射スクリーンによる表面検査装置。
IPC (2件)：
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