特許

J-GLOBAL ID：200903008065031040

位置制御装置及びその制御方法

発明者： 関口 英紀 ,  鎌田 徹 ,  阪田 裕司 ,  田畑 文夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339086
公開番号（公開出願番号）：特開平5-173639
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】半導体製造装置等における精密位置決め用制御装置及びその制御方法に関し、特に当該半導体製造装置等のスループットの向上を図ることが可能になる位置制御装置及びその制御方法の提供を目的とする。【構成】第1の制御対象14と第2の制御対象15との相互位置制御をする装置であって、前記第1の制御対象14を駆動制御する第1の駆動制御系11と、前記第2の制御対象15を駆動制御する第2の駆動制御系12と、前記第1の駆動制御系11から出力される第1の制御信号S1と、前記第2の駆動制御系12から出力される第2の制御信号S2とを切り換える信号切換手段13とを具備し、前記信号切換手段13は、制御選択信号SEに基づいて前記第1の制御信号S1又は第2の制御信号S2を選択出力することを含み構成する。

請求項（抜粋）：

第1の制御対象(14)と第2の制御対象(15)との相互位置制御をする装置であって、前記第1の制御対象(14)を駆動制御する第1の駆動制御系(11)と、前記第2の制御対象(15)を駆動制御する第2の駆動制御系(12)と、前記第1の駆動制御系(11)から出力される第1の制御信号(S1)と、前記第2の駆動制御系(12)から出力される第2の制御信号(S2)とを切り換える信号切換手段(13)とを具備し、前記信号切換手段(13)は、制御選択信号(SE)に基づいて前記第1の制御信号(S1)又は第2の制御信号(S2)を選択出力することを特徴とする位置制御装置。

IPC (6件)：

G05D 3/00 ,  G05B 19/19 ,  G05D 3/12 ,  G05D 3/12 305 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68