感光性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-332775
公開番号（公開出願番号）：特開平10-161306
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】高解像度、高細線密着性の厚膜ファインパターンが得られる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】酸価が95〜250mgKOH/gで、重量平均分子量が5000〜200000のベースポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、自己解裂型開始剤(C)からなり、(B)中にエチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレートを50重量%以上含有させる。

請求項（抜粋）：

酸価が95〜250mgKOH/gで、重量平均分子量が5000〜200000のベースポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、自己解裂型開始剤(C)を含んでなり、かつ(B)中にエチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレートを50重量%以上含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/027 501 , G03F 7/004 512 , G03F 7/028 , G03F 7/033 , H05K 3/06

FI (5件)：

G03F 7/027 501 , G03F 7/004 512 , G03F 7/028 , G03F 7/033 , H05K 3/06 H

引用特許：

審査官引用 (8件)

特公平2-050462
特開平2-221960
特開平4-340552

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