特許

J-GLOBAL ID：200903008077157758

真空チェンバの渦電流補正装置

発明者： 小松 孝仁
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-183189
公開番号（公開出願番号）：特開2002-008899
出願日： 2000年06月19日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 真空チェンバに流れる渦電流を最小限にして、磁場の乱れを引き起こさないようにする。【解決手段】 真空チェンバ7の外面に沿って配置した渦電流補正コイル14と、渦電流補正コイル14外方の励磁コイル近傍に配置されて渦電流補正コイル14に無端状に接続された外側コイル15とを備え、励磁コイルの磁場により外側コイル15を流れる電流の方向が、真空チェンバ7に生じる渦電流6により渦電流補正コイル14を流れる電流の方向と逆になるように外側コイル15と渦電流補正コイル14とを配置した。

請求項（抜粋）：

真空チェンバの外面に沿って配置した渦電流補正コイルと、該渦電流補正コイル外方の励磁コイル近傍に配置されて前記渦電流補正コイルに無端状に接続された外側コイルとを備え、前記励磁コイルの磁場により外側コイルを流れる電流の方向が、前記真空チェンバに生じる渦電流により渦電流補正コイルを流れる電流の方向と逆になるように外側コイルと渦電流補正コイルとを配置したことを特徴とする真空チェンバの渦電流補正装置。

FI (2件)：

H05H 13/04 C ,  H05H 13/04 E

Fターム (7件)：

2G085AA13 ,  2G085BA14 ,  2G085BA16 ,  2G085BB20 ,  2G085BC04 ,  2G085BC09 ,  2G085BC13