特許

J-GLOBAL ID：200903008079332760

光学装置

発明者： 前田 哲男
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 稲本 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-096451
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292007
出願日： 1995年04月21日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 小型で安価な光学装置で検出対象物の表面状態と変位とを同時に検出できるようにする。【構成】 検出対象物2の投射面3に垂直に検出光を投射する発光素子7の光路上にビームスプリッタ(BS)8を装着し、ビームスプリッタ8を透過する透過光9が投射面3で反射する反射光14を、変位センサを構成するPSD12に入射して検出対象物2の変位を検知する。ビームスプリッタ8で反射する反射光10が投射面3で反射する反射光18を、受光素子15,16で構成される表面状態センサに導き、その出力から検出対象物2の表面状態を検出する。

請求項（抜粋）：

検出対象物の表面に対して投射する検出光を発生する発光素子と、前記発光素子から発生された前記検出光を反射または透過させて、第1の方向と第2の方向に向かう第1の光と第2の光に分離する光学素子と、前記第1の光の前記検出対象物により反射された反射光のS偏光成分とP偏光成分とを別々に受光する受光素子と、で表面状態センサを構成し、前記第2の光の前記検出対象物により反射された反射光を受光するように受光面が配置された光位置検出器で変位センサを構成することを特徴とする光学装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/06 ,  G01B 11/30 102 ,  G01N 21/47

FI (5件)：

G01B 11/00 B ,  G01B 11/00 E ,  G01B 11/06 Z ,  G01B 11/30 102 Z ,  G01N 21/47 B