特許
J-GLOBAL ID：200903008086292447
透光性シート状物中の欠陥を光学的に検出する方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-153772
公開番号（公開出願番号）：特開平10-002868
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】【課題】 透光性シート状物内の欠陥を良好な精度で検出する。【解決手段】 互いに平行な1対の主表面4aを有する透光性シート状物2にその端面6a,6bから主表面内における指向性を有する照明光を照明手段12a,12bにより入射させ、この照明光をシート状物2内にて1対の主表面による内面反射により伝搬させ、シート状物2内に存在する欠陥に基づき光路を偏向され1対の主表面4aから出射する出射光を検出することにより、透光性シート状物2中の欠陥を光学的に検出するに際し、シート状物2の端面6a,6bに対して傾いた方向に指向性を有する照明光を入射角θで入射させ、欠陥検出位置30を主表面4aの法線方向から傾いた方向の出射光を撮像手段20A,20B,22A,22B,24A,24Bを用いて検知する。
請求項（抜粋）：
互いに平行な1対の主表面を有する透光性シート状物にその端面から前記主表面内における指向性を有する照明光を入射させ、該照明光を前記シート状物内にて前記1対の主表面による内面反射により伝搬させ、前記シート状物内に存在する欠陥に基づき光路を偏向され前記1対の主表面から出射する出射光を検出することにより、前記透光性シート状物中の前記欠陥を光学的に検出する方法であって、前記シート状物の端面に対し傾いた方向に前記指向性を有する前記照明光を入射させ、前記主表面の法線方向から傾いた方向の前記出射光を検知することを特徴とする、透光性シート状物中の欠陥を光学的に検出する方法。
FI (2件)：
G01N 21/89 D
, G01N 21/89 A
