特許
J-GLOBAL ID:200903008088900800
固体撮像素子及びその製造方法、並びにオンチップレンズ金型の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松隈 秀盛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-180099
公開番号(公開出願番号):特開2001-358320
出願日: 2000年06月15日
公開日(公表日): 2001年12月26日
要約:
【要約】【課題】 オンチップレンズを有する固体撮像素子の製法において、均一形状のオンチップレンズの形成、ギャップレスのオンチップレンズの形成、ボンディングパッド部等の不要箇所に影響を与えない、工程削減、等を可能にする。【解決手段】 固体撮像素子の上にレンズ材料層41を被着形成し、レンズ材料層42に金型31を押し付けてオンチップレンズ42を成形する
請求項(抜粋):
金型で形成されたオンチップレンズを有して成ることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (4件):
H01L 27/14
, H01L 27/148
, H01L 31/10
, H04N 5/335
FI (4件):
H04N 5/335 V
, H01L 27/14 D
, H01L 27/14 B
, H01L 31/10 A
Fターム (24件):
4M118AA01
, 4M118AA06
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA04
, 4M118DA27
, 4M118EA20
, 4M118FA06
, 4M118FA13
, 4M118GB11
, 4M118GC07
, 4M118GD04
, 5C024CX41
, 5C024CY47
, 5C024EX43
, 5C024GY01
, 5F049MA02
, 5F049NA08
, 5F049NA18
, 5F049NB05
, 5F049RA02
, 5F049SZ20
, 5F049TA12
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