特許
J-GLOBAL ID：200903008089129440
表面欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-013307
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197455
出願日： 1997年01月09日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】被検査物表面に発生する各種欠陥を的確に検出する。【解決手段】被検査物7の幅方向の2個所にマ-キング装置1で基準座標マ-ク9を表示する。投光部2から被検査物7の表面に光を照射しながらCCDカメラ3で被検査物表面を上流側から撮像し、CCDカメラ4で下流側から撮像する。取付け位置と取付け角度が異なる2台のCCDカメラ3,4で撮像した画像デ-タを信号処理部5で基準座標マ-ク9の位置を基準として座標補正し、座標補正した画像デ-タの差を演算して合成画像デ-タを形成し、形成した合成画像デ-タから欠陥の有無を判定する。
請求項（抜粋）：
マ-キング装置と投光部と複数の画像入力装置と信号処理部と表示装置とを有し、マ-キング装置は搬送装置で搬送される被検査物表面の座標を特定する基準座標マ-クを表示し、投光部は被検査物表面の幅方向全体に光を照射し、複数の画像入力装置は被検査物表面の輝度情報を入力するものであり、被検査物表面の光照射位置の前後又は左右両側から一定距離離れた異なる位置にそれぞれ配置され、信号処理部は各画像入力装置から送られる画像デ-タの位置を基準座標マ-クの情報を基準として補正し、補正された各画像デ-タの差を演算して合成画像デ-タを形成し、合成画像デ-タから欠陥の有無を判定し、表示装置は信号処理部で形成した合成画像デ-タと欠陥の有無を表示することを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/89 Z
, G01B 11/30 G
