特許

J-GLOBAL ID：200903008101402084

静電チヤツク

発明者： 松永 大輔
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-291073
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129421
出願日： 1991年11月07日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】 ウエハを支持する静電チャックに関し,静電チャックの固定電荷除去に要する時間のマージンを低減して, 装置の稼働率および処理のスループットを向上させることを目的とする。【構成】 1)ウエハを支持するウエハ支持台1と, 該ウエハ支持台上で該ウエハを上下動させるリフトピン3と,該上下動の際に該リフトピンにかかるストレスを検知するストレスセンサ4とを有するように構成する。2)前記ストレスセンサがスプリングを用いた接点式センサ, またはピエゾ素子, または圧力計であるように構成する。3)前記ストレスセンサが出力する信号を,ウエハ搬送系を司るCPU に帰還し,ウエハ搬送の可, 不可を判断する機能を有するように構成する。

請求項（抜粋）：

ウエハを支持するウエハ支持台と, 該ウエハ支持台上で該ウエハを上下動させるリフトピンと,該上下動の際に該リフトピンにかかるストレスを検知するストレスセンサとを有することを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  G01L 9/04 101 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/66