特許
J-GLOBAL ID:200903008108389008

シャックハルトマン波面検出器及び補償光学装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-065506
公開番号(公開出願番号):特開平8-261842
出願日: 1995年03月24日
公開日(公表日): 1996年10月11日
要約:
【要約】【構成】格子状に配列された四象限検出器10のそれぞれに波面傾きに比例するIx,Iyを計算するアナログ演算回路11を設け、同じ行に配列された各Ixの出力は同一のMPXに入力し、同じ列に配列された各Iyの出力もそれぞれ同一のMPXに入力する。各Ixは四象限検出器10の横方向に位置する順序で、各Iyは四象限検出器10の縦方向に位置する順序でクロックBに同期して各MPX12から出力される。MPX12から出力されるIxをA/D変換器13でデジタル値に変換し、∂φ/∂x変換器14でIxを∂φ/∂xに変換する。【効果】波面を求めるまでの計算をIx及びIyの全てのデータを制御装置7に入力した時点で終了できるため、CPU20で計算する演算量を低減できる。
請求項(抜粋):
光波あるいはレーザビームを入射し波面歪を検出するシャックハルトマン波面検出器において、検出する波面を入射する複数のレンズを縦及び横方向にそれぞれ等間隔で格子状に配列し、前記複数のレンズにその焦点像を検出する四象限光検出器をそれぞれ設け、前記四象限光検出器の四つの出力値から前記格子状配列の縦及び横の二方向の波面傾きに比例する量を計算するアナログ回路で構成された演算回路を設けたことを特徴とするシャックハルトマン波面検出器。
IPC (4件):
G01J 9/00 ,  G01J 1/42 ,  G02B 26/00 ,  H01S 3/00
FI (4件):
G01J 9/00 ,  G01J 1/42 E ,  G02B 26/00 ,  H01S 3/00 G

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