表面検査方法及び表面検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-232131
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075436
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】本発明は、表面検査方法及び表面検査装置において、形状の複雑な検査対象に対しても形状の特徴を検査基準とした表面検査を容易に実現し得る表面検査方法及び表面検査装置を得る。【構成】検査対象(2)に応じて生成されるデイジタル画像データから得られる基準画像(21A)を表面形状に応じて領域分割して境界線(26)の線画像を抽出し、形状に応じて線分に分割し、所定面積を有する境界線領域(27)とし、デイジタル画像データから得られる被検査画像(21B)を領域分割し、各領域間の境界線(26)を形状に応じた線分に分割し、かつ所定画素幅に変換して、境界線領域(27)と境界線(26)との対応する線分間で形状比較する。

請求項（抜粋）：

検査対象の表面の基準画像と被検査画像とを形状比較して上記検査対象の表面形状を検査する表面検査方法において、上記検査対象に応じて生成されるデイジタル画像データから得られる上記基準画像を上記表面形状に応じて領域分割して境界線の線画像を抽出し、当該線画像を形状に応じて線分に分割し、所定面積を有する境界線領域とし、上記デイジタル画像データから得られる上記被検査画像を上記表面形状に応じて領域分割して境界線の線画像を抽出して当該線画像を形状に応じた線分に分割し、かつ所定画素幅に画素膨張処理して対応する上記境界線領域と線分間で比較することによつて形状を検査することを特徴とする表面検査方法。

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