特許
J-GLOBAL ID：200903008118072010
洗浄方法および洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-114486
公開番号（公開出願番号）：特開平9-302487
出願日： 1996年05月09日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：
【要約】【課題】水道水レベルの純度の洗浄水を用いて被洗浄物を洗浄するに際して、水質を安定に保ちながら水道水の給水量を適量に制御して節水すると共に、使用済み洗浄水を浄化再生して水資源の有効利用を図ることのできる洗浄方法とその装置とを提供することを目的とする。【解決手段】多段向流式の洗浄装置の最下流の水洗槽6に、比抵抗計1を設けて洗浄水の汚れの度合いを計測し、常に洗浄水中の不純物濃度が所定の管理幅内にあるように給水管11の電磁弁12を開閉させて洗浄水の給水量を制御する。また、最上流の水洗槽4と最下流の水洗槽6との間には、洗浄水の浄化再生循環路を設けて最上流の汚れた洗浄水を逆浸透膜8により浄化再生し、これを最下流の水洗槽6に循環して再使用する。逆浸透膜8の前後には比抵抗計2、3を設けて循環水の比抵抗を計測し逆浸透膜8の再生処理能力を判定する。
請求項（抜粋）：
複数の水洗槽が連続して設けられ、被洗浄物の移動方向の下流側から洗浄水が順次オーバーフローしてくる多段向流式の洗浄装置を使用し、かつ洗浄水として水道水、もしくは工業用水レベルの水質の洗浄水で洗浄し、最上流の汚れた洗浄水を逆浸透膜により再生浄化し、これを最下流の水洗槽に循環して再使用する洗浄水の浄化再生循環路を有して成る洗浄方法であって、前記最下流の水洗槽の比抵抗を計測し、得られた比抵抗値でその水洗槽中における洗浄水の汚れの度合いを判断して常に洗浄水中の不純物濃度が所定の管理幅内にあるように洗浄水の給水量を制御すると共に、前記浄化再生循環路における逆浸透膜の前後の循環水の比抵抗を計測して逆浸透膜の再生処理能力を判定するように構成して成る洗浄方法。
IPC (5件)：
C23G 1/36
, B08B 3/14
, C25D 21/20
, H01L 21/304 341
, H05K 3/26
C23G 1/36
, B08B 3/14
, C25D 21/20
, H01L 21/304 341 S
, H05K 3/26 A
