特許

J-GLOBAL ID：200903008121456857

マスクブランクスにおけるメンブレンの応力測定方法及び装置

発明者： 岡田 政志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-389822
公開番号（公開出願番号）：特開2002-190441
出願日： 2000年12月22日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】 複数のメンブレンを有するマスクブランクスにおいて、複数のメンブレンの応力を正確に測定することが可能な方法及び装置を提供する。【解決手段】 ブランクス固定板3に電源を用いて電圧をかけると、ブランクス固定板3とマスクブランクス2の支柱部分10との間に吸着力である静電気力が働き、マスクブランクス2の支柱部分10はブランクス固定板3に固定される。圧力可変の加圧手段が接続されている加圧チャンバー1に圧力を加え、ブランクス固定板3の穴8を通してメンブレン9に圧力をかけ、マスクブランクス2のメンブレン9部分を膨らませる。圧力計で加圧チャンバー1内の圧力の測定を行いながら、メンブレン変位量測定手段によってマスクブランクス2の1つのメンブレンの膨らみ量を測定する。加圧チャンバー1内の圧力を変えながら、メンブレンの膨らみ量を測定し、応力とヤング率を求める。

請求項（抜粋）：

複数の薄膜(メンブレン)を備えているマスクブランクスの、メンブレンの応力を測定する方法であって、穴の開いた板に発生させた静電気力で前記マスクブランクスの支柱部(ストラット)を固定し、前記穴を通して前記メンブレンに圧力をかけ、前記メンブレンの変位量を測定し、前記圧力と前記変位量の関係に基づいてメンブレンの応力を測定することを特徴とするマスクブランクスにおけるメンブレンの応力測定方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01L 1/00 ,  G03F 1/16

FI (4件)：

G01L 1/00 A ,  G03F 1/16 A ,  H01L 21/30 531 M ,  H01L 21/30 541 S

Fターム (10件)：

2H095BA08 ,  2H095BA10 ,  2H095BB37 ,  2H095BC04 ,  2H095BD02 ,  5F046GD05 ,  5F046GD20 ,  5F056AA06 ,  5F056BA10 ,  5F056FA05