特許

J-GLOBAL ID：200903008128012016

金属膜の埋設深さ測定方法

発明者： 白井 宏 ,  鈴木 健司 ,  辛 平
出願人/特許権者： コバレントマテリアル株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人 天城国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-122338
公開番号（公開出願番号）：特開2008-275552
出願日： 2007年05月07日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：

【課題】透光性材料の表面からその透光性材料に埋設された金属膜までの深さを非破壊で精度良く簡便に測定するための金属膜の埋設深さ測定方法を提供する。【解決手段】赤外光を用いて、金属膜が埋設された透光性材料の反射スペクトルの測定を一定の入射角θで行うことによって反射スペクトルを求め、得られた反射スペクトルの2500cm-1以上の波数域における周期的な干渉縞の周期P(cm-1)を求め、透光性材料の屈折率をnとして、透光性材料の表面から金属膜までの深さd(cm)を、d=1/(2P(n2-sin2θ)0.5)により求める。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透光性材料にその表面から一定の深さに金属膜が埋設されてなる部材における当該金属膜の埋設深さを測定する方法であって、 前記部材へ、所定波数領域の赤外光を一定の入射角θで入射させ、そのときの波数νごとに入射光エネルギー強度I0(ν)に対する反射光エネルギー強度I(ν)の比たる反射率I(ν)/I0(ν)を測定し、この反射率I(ν)/I0(ν)と波数νとの関係を示す反射スペクトルを求め、 前記反射スペクトルの周期的な干渉縞の周期P(cm-1)を求め、 前記透光性材料の屈折率をnとして、前記透光性材料の表面から前記金属膜までの深さd(cm)を、d=1/(2P(n2-sin2θ)0.5)により求めることを特徴とする金属膜の埋設深さ測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/02 ,  G01V 3/12

FI (2件)：

G01B11/02 G ,  G01V3/12 B

Fターム (9件)：

2F065AA25 ,  2F065AA47 ,  2F065CC31 ,  2F065FF42 ,  2F065FF51 ,  2F065GG21 ,  2F065HH12 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67