特許
J-GLOBAL ID：200903008130082676
マルチ式ウエ-ハ処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-331063
公開番号（公開出願番号）：特開平7-193112
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】複数の処理室を有する装置におけるウエ-ハ搬送ロボットのティ-チングを短時間で且つ正確に行う。【構成】ウエ-ハの処理をそれぞれに実施可能な複数の真空処理室8,11と、それぞれに接続された真空搬送室6と、真空搬送室6内に設けられた真空搬送ロボット7と、ウエ-ハ配置面上部に画像中心がくるように設けられたカメラ10,13と、それぞれのカメラ10,13からの映像デ-タを入力しウエ-ハのずれを算出する画像処理装置15と真空搬送ロボット7の移動量を調整するロボットコントロ-ラ16とで構成される。
請求項（抜粋）：
ウエ-ハの処理をそれぞれに実施可能な複数の真空処理室と、前記複数の真空処理室が接続される真空搬送室と、前記真空搬送室内に設けられたウエ-ハ搬送ロボットと、前記複数の真空処理室に前記ウエ-ハの配置面に対応させてそれぞれ設けたカメラと、前記それぞれのカメラから映像デ-タを入力し、前記ウエ-ハのずれを算出する制御手段と、前記ウエ-ハ搬送ロボットの移動量を調整する制御手段で構成したことを特徴とするマルチ式ウエ-ハ処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G06T 7/00
, H01L 21/02
