特許

J-GLOBAL ID：200903008133113157

電子線装置

発明者： 品田 博之 ,  矢島 裕介 ,  大嶋 卓 ,  黒田 勝広
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-080065
公開番号（公開出願番号）：特開平9-270242
出願日： 1996年04月02日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】試料の表面状態を高感度,高分解能で画像化観察できる低エネルギー電子顕微鏡(LEEM)や反射型電子顕微鏡(MEM)の分解能を向上させること。【解決手段】電磁型対物レンズ30の構造を工夫し、試料1を対物レンズ30のレンズ磁界中に置けるようにする。具体的には、対物レンズ30の磁路を構成する磁極の一部を非導電性の強磁性体5で構成し、試料側の磁極部分6をレンズ本体側の磁極部分3から電気的に絶縁して、この試料側磁極部分6の内側に試料1を挿入設置して、試料側磁極部分6を試料1と同じ負電位に置く。非導電性強磁性体5としては、NiFe2O4が適している。【効果】低エネルギー電子顕微鏡(LEEM)や、反射型電子顕微鏡(MEM)の分解能の向上が図れる。

請求項（抜粋）：

電子源から放出された電子を加速して電子ビームとし、試料近傍に配置された電磁型対物レンズにより上記電子ビームを方向の揃った平行電子ビームとして上記試料の表面に照射する際、上記試料に負電位を印加して上記電子ビームが上記試料表面に到る直前の位置に逆電界を形成して、上記電子ビームを減速してから上記試料表面に照射することによって得られる反射電子または上記逆電界により上記試料に到達せずに反跳された電子を電子光学系を用いて結像させ、上記試料表面の拡大像を得るようにした電子線装置において、上記試料の表面が上記対物レンズのレンズ磁界中に置かれてなることを特徴とする電子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/29 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/20

FI (3件)：

H01J 37/29 ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/20 A