特許
J-GLOBAL ID：200903008139950786
静電駆動型リレー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-166548
公開番号（公開出願番号）：特開平6-012962
出願日： 1992年06月25日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】接点圧力が十分得られ、接触信頼性が良く、接点間耐圧も高く、電極への印加電圧も低くてすむ静電駆動型リレーを提供するにある。【構成】上、下部の固定片1、3は固定電極、10、30を形成せるシリコンウェハからなる。固定片1、3の間に挟持される可動片2も可動電極21を形成せるシリコン単結晶ウェハからなり、可動電極21が移動可能に支持されている。両固定片1、3と可動片2のサンドイッチ状の構造は、各固定電極10、30上に形成しているエレクトレット11、31による可動電極21に及ぼす静電力と、外部印加による静電力を重ね合わせた力とで、可動接点22と固定接点12又は32との間の接点圧を大きくすることができるのである。
請求項（抜粋）：
固定電極を形成せるシリコンウェハからなる2つの固定片と、可動電極を形成せるシリコンウェハからなり上記両固定片によってサンドイッチ状に挟まれ上記可動電極が移動可能に支持された可動片とで構成され、上記両固定片の各固定電極上にエレクトレットを形成し、可動片と固定片とには可動片の移動により互いに接離する接点を設けたことを特徴とする静電駆動型リレー。
引用特許：
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