スリット付モノクロメータ、X線切換装置およびX線分析装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西教圭一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-236092
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059825
出願日： 1999年08月23日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】 1台の装置で、X線測定における2つのモードである角度分散方式とエネルギ分散方式とを切換え可能にする。【解決手段】 X線発生源24から発生される白色X線25の経路に、スリット付モノクロメータ21を配置する。スリット付モノクロメータ21は、モノクロメータ22の入射平面にソーラスリット23を付加させて形成する。白色X線25がソーラスリット23のみを通過するようにすれば、発散角が押さえられた白色X線28が得られる。白色X線25がモノクロメータ22に入射するようにすれば、単色X線29が得られる。スリット付モノクロメータ21の相対的な位置を変位させるだけで、白色X線28と単色X線29とを切換えて、エネルギ分散方式のX線分析と角度分散方式のX線分析とを行うことができる。

請求項（抜粋）：

X線分析装置のX線発生源と分析試料との間に配置されるスリット付モノクロメータであって、少なくとも1つの入射平面を有し、該入射平面に所定の角度で入射するX線中に含まれる特性X線を単色X線として選択的に反射するモノクロメータと、複数のエッジが小さな隙間をあけて平行に配置されてなるソーラスリットとを、モノクロメータの入射平面側で一体にしたことを特徴とするスリット付モノクロメータ。

IPC (3件)：

G01N 23/207 , G01T 7/00 , G21K 1/06

FI (4件)：

G01N 23/207 , G01T 7/00 , G21K 1/06 A , G21K 1/06 M

Fターム (24件)：

2G001AA01 , 2G001AA09 , 2G001DA01 , 2G001EA01 , 2G001EA02 , 2G001EA03 , 2G001EA09 , 2G001EA20 , 2G001GA01 , 2G001JA01 , 2G001JA20 , 2G001KA01 , 2G001KA08 , 2G001SA02 , 2G001SA30 , 2G088EE29 , 2G088EE30 , 2G088FF02 , 2G088FF03 , 2G088FF15 , 2G088GG09 , 2G088GG21 , 2G088JJ13 , 2G088JJ21

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