特許
J-GLOBAL ID：200903008141241504
収納ケース、露光装置及びデバイス製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-240276
公開番号（公開出願番号）：特開平11-065094
出願日： 1997年08月22日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】酸素により吸収される特性を有するエネルギー線を用いても、効率よく原板のパターン転写を行うことができ、また不活性ガス雰囲気等を破ることなく、迅速に原板を交換することのできる露光装置、デバイス装置及びそれに用いる収納ケースを提供する。【解決手段】収納するレチクルRの表面に対してほぼ平行で、少なくとも一部がレチクルRを照射するエネルギー線が透過可能な材質から形成されたガラス板11a、11bを有し、収納ケース内は、不活性ガスが供給されているので、レチクルRのパターンを描画するエネルギー線が酸素により吸収される特性を有するものであっても、収納ケースごと、エネルギー線が通過する位置におけば、少なくともガラス板11a、11bの間に酸素が存在しない状態を生じさせることができ、それによりエネルギー線の利用効率を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
原板を収納する収納ケースにおいて、前記収納する原板の表面に対してほぼ平行で、少なくとも一部が前記原板を照射するエネルギー線が透過可能な材質から形成された第1の面と第2の面とを有し、前記収納ケース内は、不活性ガスが供給されていることを特徴とする収納ケース。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 M
, H01L 21/30 503 E
