特許

J-GLOBAL ID：200903008141907391

静電容量式多軸加速度センサ

発明者： 宇野 圭輔 ,  日笠 浩一
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-184630
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014659
出願日： 1997年06月26日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】 他軸干渉の影響を可及的に抑制し、感度が一定の静電容量式多軸加速度センサを提供すること【解決手段】 センサ素子は、可動電極13を備えた半導体基板と、その半導体基板の両面に接合された固定基板とを備え、一方の固定基板には、4つの第1固定電極18a〜18dが形成され、他方の固定基板には第1固定電極と上下対称な第2固定電極20a〜20dが形成される。X軸,Y軸方向に加速度が加わり可動電極が変位した場合に、第1,第2固定電極のうち可動電極との間で発生する静電容量が増加する固定電極同士(X軸方向では18a,20b)と、静電容量が減少する固定電極同士(X軸方向では18b,20a)をそれぞれグループ化し、各グループを構成する固定電極と可動電極との間で発生する静電容量の総和に基づいて加速度を求める。

請求項（抜粋）：

可動電極を備えた半導体基板と、その半導体基板の上下両面に接合された固定基板とを備え、前記一方の固定基板には、少なくとも1対以上のX軸,Y軸方向検出用の第1固定電極が形成され、前記他方の固定基板には、少なくとも1対以上のX軸,Y軸方向検出用の第2固定電極が形成され、前記第1,第2固定電極は、上下対称になるように配置され、X軸またはY軸方向に加速度が加わり前記可動電極が変位した場合に、前記第1,第2固定電極のうち前記可動電極との間で発生する静電容量が増加する固定電極同士と、静電容量が減少する固定電極同士をそれぞれグループ化し、各グループを構成する固定電極と可動電極との間で発生する静電容量の総和に基づいて加速度を求めるようにしたことを特徴とする静電容量式多軸加速度センサ。