特許

J-GLOBAL ID：200903008142501720

真空用磁性流体シール装置

発明者： 松永 茂樹 ,  細谷 真幸
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 小山 欽造 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-241429
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066375
出願日： 1992年08月19日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】磁性流体10の飛沫が真空空間26に飛散するのを確実に防止する。【構成】一方のポールピース9の内周縁と軸2の外周面5との間にOリング24を設ける。このポールピース9の内周縁と軸2の外周面5との間でこのOリング24から外れた部分に磁性流体10を、永久磁石7の磁力により保持する。他方のポールピース8の内周縁と軸2の外周面5との間には一切シール材を設けない。

請求項（抜粋）：

円筒状の周面を有する磁性材製の第一部材と、この第一部材と同心に設けられ、上記第一部材に対して相対的に回転する第二部材と、この第二部材の周面と上記第一部材の周面との間の円筒状の空間内に挿入自在な大きさを有する円輪状に形成され、軸方向に亙って着磁された永久磁石と、上記円筒状の空間内に挿入自在な大きさを有する円輪状に形成され、上記永久磁石の側面に固着されたポールピースと、このポールピースの周縁と上記第一部材の周面との間に、上記永久磁石の磁力により保持された磁性流体とから成り、軸方向一方の側を真空空間に対向させた状態で使用される真空用磁性流体シール装置に於いて、上記ポールピースの周縁と上記第一部材の周面との間には、これら周縁と周面との間に存在する円環状の隙間の一部を塞ぐ固体シール材が設けられており、上記隙間の残部でこの固体シール材が占めている空間以外の部分にのみ、上記磁性流体が保持されており、これら固体シール材と磁性流体とにより、上記真空空間と大気圧部分とを隔てた事を特徴とする真空用磁性流体シール装置。